中国製ファブヒーター工場

ファブフロアでは、ラインはオーブンの安定を待たない。 ウェハーはスピンドライステーションにあり、最後の水分が蒸発してもパターンは保持したまま安定している。フォトレジストは1℃以内の範囲でソフトベークを行う必要があり、これを逸脱するとクリティカルディメンション（CD）コントロールがずれる。パッケージ...