持続可能なファブ製造ソリューション

なぜファブでは熱風に代わって赤外線を使うのか 半導体製造に携わったことがある人なら、従来の熱風を使う方法の問題点を知っているはずです。つまり、巨大な空気の泡を加熱し、その熱がウェーハに効率的に伝わるようにするわけです。しかし、これには遅れが伴います。まるでエアヒーターで部屋を温めるようなもので、空...