赤外線ランプ用アルミニウム反射板

ウェーハを清潔に保つために：なぜIRランプの設計が重要なのか 高負荷の製造環境では、ランプの故障は単なる技術的な問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。 例えば、シリコンウェーハの真上でIRチューブが破裂したとしましょう。その場合、ガラスの破片やハロゲンガスが飛び散り、結果としてウェーハ全体が...