웨이퍼 경화 램프용 반사판
혼란을 막는 방법: 웨이퍼 치유 과정에서 발생하는 램프 고장 문제 해결하기
솔직히 말해서, 고부하가 걸리는 치유 시스템에서 램프가 고장 나면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 가동 중단이나 성가신 알람 문제뿐만 아니라, 유리 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어지는...
IR 램프용 알루미늄 반사기
웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법: 왜 IR 램프의 설계가 중요한가요?
고부하 환경에서 램프가 고장나는 것은 단순한 기술적 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다.
실리콘 웨이퍼 위에서 IR 램프가 파손된다고 상상해 보세요. 유리 조각과 할로겐 가스가 사방으로 튀어...