중국 제조 팹 히터 공장

제조 현장에서는 라인이 오븐이 안정될 때까지 기다리지 않는다. 웨이퍼는 스핀 드라이 스테이션에 놓여 마지막 남은 수분이 증발할 때까지 안정적으로 유지된다. 그 과정에서 패턴이 손상되어서는 안 된다. 포토레지스트는 1도 이내의 온도 범위에서 소프트 베이크가 이루어져야...