매트슨 RTP 램프 교체

Fab Floor에서, RTP 장비의 램프 하나만 꺼져도 챔버가 멈추는 것을 넘어 라인 전체가 중단된다. 포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크 도중 온도 변동은 중요한 치수 목표치를 벗어나게 하며, 웨이퍼 전반에 걸친 비균일한 가열은 재현성을 불확실하게 만든다....