클린룸 오븐적외선 히터

왜 클린룸 오븐에서 강제로 열을 가하는 방식을 버리는가? 많은 반도체 생산 라인들이 여전히 강제로 열을 가하는 방식을 사용하고 있습니다. 솔직히 말해서, 이는 큰 병목 현상입니다. 생각해보세요. 공기는 열 전도체로서의 성능이 매우 낮습니다. 웨이퍼나 부품의 온도를 높...