Het regelen van de temperatuur in je vacuümkamer
Als je een moderne fabriek bouwt, hebt je vast al gemerkt dat thermische energie een behoorlijke uitdaging kan zijn. Zodra de lucht uit de vacuümkamer wordt gehaald, verdwijnt de convectie plotseling. Er blijft alleen nog maar straling over om het proces te laten werken.
Daarom worden infraroodsystemen gebruikt. In plaats van te proberen de vacuumomstandigheden te overwinnen, werken deze systemen samen met de vacuumomstandigheden: ze sturen energie rechtstreeks naar het gewenste doel, zonder dat er een tussenliggend element nodig is.
Stoppen met raden over de temperatuur
We hebben allemaal te maken gehad met standaardresistieve heaters. Het probleem? Ze reageren traag. Het duurt lang voordat ze op temperatuur zijn, en nog langer voordat ze afkoelen. Als je probeert een PID-loop te beheren, is deze vertraging een nachtmerrie. Het maakt de gegevens onbruikbaar en het hele proces wordt als het besturen van een schip met een kapotte stuurinrichting.
Infraroodsystemen zijn anders. Ze reageren in real-time. Omdat deze heaters in real-time reageren, kunnen ze rechtstreeks worden aangesloten op je PLC. Je hoeft niet meer alleen maar te hopen op de juiste temperatuur; je kunt juist het thermische profiel van je wafer bekijken. Het is het verschil tussen het raden van de temperatuur in een ruimte en het precies weten waar de hete plekken zich bevinden.
De realiteit van werken in een vacuüm
Werken in een vacuüm heeft ook zijn eigen uitdagingen. Allereerst is er het probleem van uitgasen. Niemand wil dat onzuiverheden het zuivere proces verstoren. Om dit te voorkomen, gebruiken we kwarts van hoge kwaliteit en speciale coatings op de lampen, zodat alles schoon blijft.
Dan is er nog het probleem van de energievoorziening. Je wilt graag snel de gewenste temperatuur bereiken, zodat de productie op gang blijft. Maar hier zit het probleem: het toepassen van veel energie in een kleine ruimte veroorzaakt veel warmte. Als je koelsystemen of hitteafvoersystemen niet goed genoeg zijn, kan dat leiden tot beschadigde sensoren of andere problemen. Het is een kwestie van balans vinden.
Het maken van een efficiënt systeem
Niemand wil een systeem dat de helft van de ruimte inneemt. Door gebruik te maken van kortegolf-infrarood, kunnen we de warmtebron dichterbij het doel plaatsen. Hierdoor hoeven we geen grote behuizingen meer te gebruiken. Het hele systeem kan dan eenvoudig worden vervangen door deze oude, grove systemen.
Je krijgt meer wafers per vierkante meter vloeroppervlak. Je installatie wordt eenvoudiger, het oppervlak wordt kleiner en het workflow werkt soepeler.