工厂干燥系统的能源审计

如何正确地干燥晶圆：为什么黄金如此重要 干燥晶圆其实是一项需要精确控制的工艺。水必须尽快被蒸发掉，但同时不能留下任何水渍或灰尘痕迹。这确实是一项充满挑战的任务。 通常，我们会使用镀金反射器来确保加热器发出的红外能量能够准确照射到晶圆上。如果没有这些反射器，大部分热量都会散失在腔室壁上，这无疑是一种...