晶圆设备用温度传感器

在晶圆车间，光刻胶烘烤过程中0.5°C的温度漂移不仅仅是尺寸（CD）偏差。这涉及的风险很大。晶圆设备全天候7×24运行，热不稳定会迅速累积，消耗热预算并导致返工。你需要一种温度传感器，其重复性应作为规格要求，而非仅仅是讨论点。 技术要点 我们针对晶圆级热均匀性±0.1°C设计了这款传感器，以保证每...