用于半导体加热器的热电偶

在制造工艺中，温度控制并非可选项，而是必须严格遵守的底线。如果在光刻胶处理过程中温度出现几度的偏差，那么在蚀刻之后，芯片的尺寸也会发生变化。这样一来，成品率就会受到影响。因此，我们为半导体加热器配备了热电偶，以此来消除每个烘烤步骤中的不确定性。 从技术上讲，关键在于确保温度控制的精确性。我们会选择...