用于晶圆的精密红外传感器

别再让加热灯损坏你的晶圆了 如果你在100级洁净室中工作，那么你一定知道那有多糟糕。哪怕只有一粒微小的灰尘——小到肉眼都无法看见——就足以让整批晶圆报废。这真是令人沮丧。 问题在于，普通的红外灯往往是罪魁祸首。它们会释放出微量颗粒物，简直就像一个个“灰尘制造机”，而这种状况恰恰发生在最需要保持洁净...