化学气相沉积加热器

在制造现场，腔室温度出现0.5℃的波动就足以影响产品的良率。我们设计这款CVD加热器，正是考虑到每一次沉积过程都涉及极其微小的温度变化。 从技术层面来看，重要的是什么？ 该加热器将短波红外加热技术与石英封装元件相结合，从而确保晶圆表面的温度均匀性在±0.1℃范围内。温度可在10秒内稳定下来，而在数...