用于制造红外灯的石英套管

在制造工厂中，光刻胶的烘烤过程是绝不能出错的环节。关键在于要确保温度能够得到精确控制。如果晶圆的温度偏差达到半度，那么其关键尺寸就会出现偏差，从而导致数小时的光刻工作白费。 红外灯及其石英套管位于热循环系统的中心位置。如果石英套管无法保持稳定的温度，那整个生产流程就会受到影响。 真正重要的因素是什...