晶圆加热的安全距离

如何让100级洁净室始终保持清洁状态 如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理，那可真是件麻烦事。哪怕有一点点杂质或气体泄漏，整批产品都会报废。这确实很令人苦恼。大多数普通加热元件根本不适合这种环境——它们容易碎裂，从而破坏产品的质量。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材料。 为什...