光刻胶干燥红外模块

在晶圆厂车间，软烘烤温度漂移半度都会影响关键尺寸控制，并在显影后留下残渣。如今已经没有任何猜测的余地。我们开发了光刻胶干燥红外模块，以消除这种变异，实现晶圆级均匀的可重复热行为，确保洁净室规范成为唯一可接受标准。 关键技术细节 我们采用无卤石英发射器的短波红外，能量直接传递至光刻胶膜层。结果是在烘...