Sicherheitsabstand bei der Wafererwärmung
Ihre Reinraumumgebung auf einem Niveau von Klasse 100 halten – das ist möglich!
Wenn Sie Siliziumwafers in einer Reinraumumgebung der Klasse 100...
Reflektor für Wafer Aushärtungslampe
Die Probleme verhindern: Umgang mit defekten Lampen bei der Härtung von Wafern
Seien wir ehrlich: Wenn eine Lampe in einem System mit hohem...
Präziser IR Sensor für Wafern
Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizlampen Ihre Wafer beschädigen!
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem...
Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern
Wie man MEMS-Chips trocknet – ohne Probleme
Das Trocknen von MEMS-Sensorchips erfordert einiges an Geschick. Man muss das Wasser schnell entfernen –...
Energieeffizienter Waferheizer
Einführung
Wir haben Infrarot-Heizsysteme entwickelt – aus einem einzigen Grund: Damit Ihre Halbleiterproduktionsanlage effizienter arbeiten kann,...
Waferschmälern durch Erwärmung mit Infrarotstrahlung
Im Produktionsbereich werden die Wafer auf eine Dicke von 50 µm herabgedünnt. Dabei geht jedoch die Qualität der Wafer zurück – schließlich erfolgt...
Temperatursensor für Wafer Werkzeug
Auf der Fertigungsebene ist eine Abweichung von 0,5°C während des Photoresist-Backens nicht nur eine CD-Änderung. Es steht viel auf dem Spiel....