دیگر اجازه ندهید لامپهای گرمایشی، ویفرهای شما را خراب کنند!
اگر از اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰ استفاده میکنید، قطعاً از این مشکل آگاه هستید. حتی یک ذره گرد و غبار کوچک، که حتی نمیتوان آن را دید، میتواند باعث خراب شدن کل محموله ویفرهای شما شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
مشکل اینجاست که لامپهای معمولی نوع IR، عامل اصلی این مشکل هستند؛ زیرا آنها ذرات ریزی را از خود ساطع میکنند. در واقع، این لامپها مانند کارخانههای تولید گرد و غبار عمل میکنند، در حالی که شما کمترین توانایی برای تحمل این مشکل را دارید.
ما این مشکل را با استفاده از کوارتز با خلوص بالا برای عناصر گرمایشی، حل کردیم.
چرا کوارتز اهمیت دارد؟
بیشتر شیشهها دارای ناخالصیهای فلزی هستند؛ ما از کوارتز مصنوعی استفاده میکنیم، زیرا این ماده تمام آن ناخالصیها را از بین میبرد.
کوارتز نه تنها گرما را منتقل میکند، بلکه جلوی ساطع شدن ذرات ریز را نیز میگیرد. ما سطح کوارتز را به گونهای پردازش میکنیم که از نظر شیمیایی بیتغییر باقی بماند؛ یعنی وقتی لامپ به دمای حداکثری خود میرسد، هیچ چیزی به محیط اطراف نفوذ نمیکند.
تنظیم دقیق دما
دقت در این موضوع بسیار مهم است؛ شما نیاز به تعادل دقیق بین توان لامپ و سطح آن دارید.
ما این لامپها را طوری تنظیم کردهایم که طیف موج کوتاه IR را منتقل کنند؛ انرژی به سرعت از سطح ویفر عبور میکند، اما باعث آسیب به اجزای اطراف آن نمیشود. این روش باعث میشود دما در سراسر سطح ویفر یکنواخت بماند.
هشدار: با احتیاط با آن کار کنید!
کوارتز با خلوص بالا از نظر شیمیایی بسیار قوی است، اما از نظر فیزیکی کمی حساس است.
این ماده نمیتواند مانند شیشههای مقاوم، در برابر فشارهای مکانیکی مقاومت کند؛ اگر براکتهای نگهدارنده لامپ خیلی محکم باشند یا سیستم کاهش ارتعاشات درست کار نکند، ممکن است ترکهای ریزی در کوارتز ایجاد شود. حتماً مطمئن شوید که فضای کافی برای گرم شدن لامپ وجود داشته باشد.
استفاده از آن در فرآیندهای کاری
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین کرد؛ هیچ کس نمیخواهد برای تعمیرات، مدت زمان طولانیی صرف کند.
ابعاد این لامپها کوچک است و اتصالات آنها محکم است؛ بنابراین هنگام تعویض قطعات، احتمال ورود آلایندهها به سیستم وجود ندارد.
نکته آخر: مطمئن شوید که سیستم خلأ یا گاز خنثیکننده، با دمای لامپ هماهنگ باشد؛ در غیر این صورت، ممکن است رسوباتی روی کوارتز ایجاد شود و این کار هدف اصلی را نقض خواهد کرد.