ウェーハを清潔に保つために：なぜIRランプの設計が重要なのか
高負荷の製造環境では、ランプの故障は単なる技術的な問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。
例えば、シリコンウェーハの真上でIRチューブが破裂したとしましょう。その場合、ガラスの破片やハロゲンガスが飛び散り、結果としてウェーハ全体が汚染されてしまいます。これは大変な問題です。私たちは、このような事態を防ぐために、高度な幾何学的構造と高純度のアルミニウムを用いて加熱システムを設計しています。
秘密はリフレクターにあります。
私たちは、反射率の高いアルミニウムを使用してハウジングを作っています。多くの人々は、リフレクターは単に熱をウェーハに戻すためのものだと思っています。確かにそうですが、実際には物理的な遮蔽装置でもあります。
私たちは、熱密度を正確に制御し、かつランプを安全に保つために、焦点の位置を慎重に計算します。もしチューブが壊れても、リフレクターが破片を受け止めてくれます。そうすれば、破片は製品に付着することはありません。
熱対策
高出力のランプは非常に高温になります。チューブが振動すると、割れてしまいます。だからこそ、私たちは安定性を保つために強化されたマウントを使用しています。また、ランプとコネクタの間のシールも丁寧に行っています。なぜなら、電気的な短絡が起きるのは最悪の事態だからです。
ちなみに、冷却システムが全体的な熱量を処理できるかどうかも重要です。もしリフレクターのハウジングが過度に熱くなると、アルミニウムが変形してしまいます。そうなると、焦点がずれてしまい、ウェーハに不均一な加熱が生じてしまいます。
不要なものを排除する
私たちは、「汚染の原因となるもの」をできるだけ減らそうとしています。
私たちの加熱エリアの近くには、有機系のコーティングや接着剤は一切ありません。なぜかというと、それらは熱くなるとガスが放出されてしまい、それは「清潔」とは正反対のことだからです。
これらをラインに組み込む際には、統合された安全装置が最後の防御線として機能します。もしチューブが壊れても、破片は内部に留まります。そうすれば、生産を続けることができ、ウェーハも清潔のままでいられます。