安全を守る：化学洗浄における金メッキ処理されたIRランプ
半導体製造ラインで作業する際、通常は熱に弱い溶剤を扱うことになります。これらの溶剤は揮発性が高く、可燃性もあります。そんな環境に高温の赤外線光源を使うと、火災が起きる可能性が非常に高くなります。
悪い事態を防ぐために、私たちは2つの対策を講じています。1つは金メッキ処理を施すこと、もう1つは厳密なシール処理を行うことです。
なぜ金なのか？
一般的な石英ランプは、長波長の放射エネルギーを多く無駄にしてしまいます。そのエネルギーは単に無駄になってしまうのです。石英に薄層の金をコーティングすることで、そのエネルギーを再びフィラメントに戻すことができます。これにより、より多くの熱が短波長域に集中します。その結果、目標とする温度に到達するのがずっと早くなります。また、過度に高出力を使わずとも、必要な熱量を得ることができます。
「危険ゾーン」への対処
一般的なランプには弱点があります。それは端の部分です。そこから熱が漏れ出したり、電気アークが発生しやすくなります。化学物質の蒸気が充満した部屋では、わずかな火花だけで事態が悪化する可能性があります。
私たちはリスクを冒しません。高品質の石英と金属の接合部や特殊な封止剤を使用して、すべてをしっかりと密封します。これにより、電気と空気の間に物理的な壁ができ、化学物質が入ったり、火花が外に出たりするのを防ぎます。
妥協点（完璧なものはないから）
これらのランプは、熱管理の面では非常に優れています。これはウェハー処理にとって理想的な特徴です。しかし、デメリットもあります。金メッキ層は繊細で、メンテナンス時に強い研磨剤を使うと、金メッキ層が剥がれてしまいます。そうなると、効率が大幅に低下してしまいます。
また、電力に関しても注意が必要です。高出力のIRランプは電圧の急変を嫌います。スイッチを入れた瞬間にフィラメントが壊れないように、専用のSCRコントローラーを使用することを強くお勧めします。
あと、ケースの通気性も確認してください。熱がどこかに逃げる必要があります。そうしないと、シール部分が破損してしまいます。