ウェーハの適切な乾燥を実現するために：なぜ金が重要なのか
ウェーハを乾燥させるのは、まるで綱渡りのような作業です。水を素早く除去する必要がありますが、同時に、水滴やほこりの痕跡が残ってはいけません。これは非常に難しい作業です。
ほとんどの場合、ヒーターから出る赤外線エネルギーがウェーハに届くように、金メッキされた反射板を使用します。これがなければ、その熱エネルギーの多くがチャンバーの壁に吸収されてしまいます。つまり、無駄なエネルギーになってしまうのです。
なぜ金なのか？
一般的なアルミニウム製の反射板も悪くはありませんが、エネルギーを余計に吸収してしまいます。一方、金は全く異なります。赤外線を元の方向に戻す能力が非常に高いのです。
金製の反射板を使えば、散乱した光を集中させることができます。そうすることで、電力消費を増やすことなく、より多くの熱エネルギーをウェーハに送り込むことができます。つまり、より効率的な焦点調整が可能になるのです。
「隠れた」問題
エネルギー診断を行う際に、この問題によく遭遇します。ランプが最大出力で動いているにもかかわらず、ウェーハの温度が目標値に達しない場合があります。
多くの人々は、ランプの性能が不足していると考えがちです。しかし実際には、ランプ自体には問題がないのです。問題は、熱が漏れてしまっていることです。金製の反射板を使えば、この問題を解決できます。つまり、支払った電力に見合った「有効な」熱エネルギーを得ることができるのです。
注意点
ただし、金も万能ではありません。実際、かなり繊細な材料です。腐食性のあるガスを使用したり、強力な化学薬品で装置を洗浄したりすると、そのコーティングが剥がれたり酸化したりしてしまいます。そうなると、反射率が低下してしまいます。コーティングの厚さにも注意が必要です。そして最も重要なのは、ランプを交換する際には十分に注意することです。少しでも傷がつけば、効果が失われてしまいます。
それでも価値はあるのか？
大量生産を行っている場合は、間違いなく価値があります。熱効率が5％向上するだけでも、一見しただけでは大したことないように思えますが、実際には大幅な電力節約と、より短い処理時間につながります。
さらに、もし冷却システムがすでに限界に達している場合、これは大変役立ちます。工具の筐体に漏れる熱が少なくなるため、冷却システムの負担も軽減されます。これにより、全員が利益を得ることができます。