빠른 경화 속도, 그리고 위험 없는 작동
공장에서는 속도가 가장 중요합니다. 빠르고 균일하게 열을 공급해주는 적외선 램프가 필요하지만, 램프가 파손되거나 웨이퍼가 오염되는 위험은 피해야 합니다. 우리는 고출력 환경에서도 안정적으로 작동하면서도 전체 공정을 깨끗하게 유지할 수 있는 적외선 램프를 개발했습니다.
강력한 성능과 적절한 크기
이 램프들은 연속적인 경화 공정에 적합하도록 설계되었습니다. 400V의 고전압 구조 덕분에 안정적이고 강력한 전류가 공급되어, 짧은 시간 내에도 빠르게 반응할 수 있습니다. 300mm 길이의 램프관은 집중된 가열 구역을 형성하여 표준 웨이퍼 캐리어 및 도구와 잘 맞습니다.
2500W의 강력한 출력 덕분에 빠르게 경화됩니다. 하지만 이러한 강력한 성능을 발휘하기 위해서는 적절한 냉각이 필요합니다. 챔버 내부에 충분한 공기 흐름과 열 관리가 이루어져야 합니다. 그렇지 않으면 주변 부품들이 손상될 수 있으며, 램프의 수명도 단축됩니다.
견고한 구조
램프관 자체는 석영으로 만들어졌으며, 급격한 온도 변화에도 견딜 수 있으며 단파 적외선 영역에서도 우수한 성능을 발휘합니다. 할로겐 가스가 필라멘트를 안정시켜주어 램프의 수명을 연장시키고 예기치 못한 고장을 줄여줍니다.
표면 코팅도 신중하게 선택되어 열이 고르게 분산되도록 하고, 고온 상태에서 입자들이 떨어지는 것을 방지합니다. R7s 커넥터 덕분에 모든 부품이 제자리에 고정되어 진동이나 팽창으로 인한 문제가 발생하지 않습니다. Sk15 터미네이션 옵션을 사용하면 좁은 공간에서도 쉽게 배선할 수 있으며, 연결부에서의 과열을 방지할 수 있습니다.
공정의 원활한 진행
웨이퍼를 경화할 때는 일관된 열과 오염 없는 환경이 필요합니다. 우리의 인증된 램프는 내부 압력, 열충격, 기계적 스트레스를 관리함으로써 램프가 파손되는 위험을 줄입니다. 만약 램프에 문제가 생기더라도, 보호 시스템이 석영 파편이 공정 영역으로 들어가는 것을 막아줍니다.
그 결과, 예기치 못한 중단이 줄어들고 재작업도 줄어듭니다. 또한 웨이퍼가 오염될 위험도 크게 줄어듭니다. 바로 교체용으로 사용할 수 있으며, 적절한 연결 방식으로 배선하면 됩니다. 자신 있게 사용할 수 있습니다.