안전을 위한 조치: 화학 세척 과정에서 사용되는 금 도금된 적외선 램프
반도체 제조 공정에서는 열에 매우 민감한 용매들을 다루게 됩니다. 이러한 용매들은 휘발성이 있고 인화성도 높습니다. 만약 고온의 적외선 광원을 그런 용매들과 함께 사용한다면, 화재가 발생할 가능성이 매우 높아집니다.
이러한 문제를 방지하기 위해 우리는 두 가지 조치를 취합니다. 바로 금 도금 처리와 철저한 밀봉 처리입니다.
왜 금을 사용할까요?
일반적인 석영 램프의 경우, 장파장 방사에 많은 에너지가 낭비됩니다. 이 에너지는 그냥 사라져버립니다. 석영 표면에 얇은 금층을 입혀주면, 그 에너지가 다시 필라멘트로 돌아가도록 할 수 있습니다. 이렇게 하면 더 많은 열이 단파장 영역으로 전달됩니다. 그 결과, 목표로 하는 온도에 훨씬 빠르게 도달할 수 있습니다. 또한, 과도한 전력을 사용하지 않고도 필요한 열량을 얻을 수 있습니다.
“위험 구역” 문제 해결
일반적인 램프의 약점은 끝부분입니다. 그곳에서 열이 새어나가고 전기 아크가 발생하기 쉽습니다. 화학 물질이 가득한 공간에서는 작은 스파크만 있어도 상황이 악화될 수 있습니다.
우리는 위험을 감수하지 않습니다. 고품질의 석영-금속 접합부와 특수한 밀봉제를 사용하여 모든 부분을 철저하게 밀봉합니다. 이렇게 하면 전기와 공기 사이에 물리적인 장벽이 생겨 화학 물질이 들어오거나 스파크가 밖으로 나가는 것을 막을 수 있습니다.
단점들
물론 완벽한 것은 없습니다. 이 램프는 열 관리 면에서는 매우 우수하지만, 금 도금층은 매우 섬세합니다. 만약 유지보수팀이 거친 도구로 석영 표면을 닦는다면, 금 도금층이 벗겨질 수 있습니다. 그러면 성능이 현저히 떨어집니다.
또한, 고출력 적외선 램프는 전압 스파이크를 싫어합니다. 스위치를 켜는 순간 필라멘트가 손상되지 않도록 전용 SCR 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다.
마지막으로, 램프의 케이스가 제대로 환기되는지 확인해야 합니다. 열이 케이스 안에 남아서 밀봉 부분이 손상되는 것을 방지해야 합니다.