작은 전선 하나로 인해 전체 웨이퍼가 망가지는 일이 있어서는 안 됩니다. 반도체 산업에서는 작은 아크 발생만으로도 전체 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 그래서 우리는 히터용 전선으로 테플론(PTFE)을 사용합니다. 테플론은 녹지도 않고, 가스도 방출되지 않으며, 열을 잘 견딜 수 있습니다.
하지만 솔직히 말해서, 재료 자체는 문제의 절반에 불과합니다. 우리는 “무작위 샘플링”을 신뢰하지 않습니다. 고전압 장비의 경우 이런 방식은 위험할 수 있습니다. 외부 커버에 작은 구멍이 생기거나 도체에 약간의 손상이 생기기만 해도 접지 오류가 발생하여 모든 것이 작동을 멈출 수 있습니다.
그래서 우리는 다른 방법을 사용합니다. 우리 공장에서 나가는 모든 전선은 반드시 전압 내성 및 절연 저항 테스트를 거칩니다. 전선의 모든 부분을 철저히 검사함으로써, 숨겨진 결함들이 여기서 바로 발견됩니다. 그렇게 하면 기계 내부에서 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있습니다.
테플론이 선호되는 이유가 있습니다. PVC나 실리콘과 달리 테플론은 견고하기 때문입니다. 게다가 크기도 작아서, 좁은 공간에 전선을 배치할 때 매우 유용합니다.
단, PTFE는 실리콘보다 조금 더 딱딱하다는 점에 주의해야 합니다. 만약 전선이 자주 구부러지는 환경이라면, 구부러질 때의 반경을 잘 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 도체에 과도한 스트레스가 가해질 수 있습니다.
실제로 이 전선들을 시스템에 연결하면, 절연 처리 덕분에 누설 전류가 억제됩니다. 그렇게 되면 민감한 센서들이 오작동하는 것을 방지할 수 있습니다.
우리는 전선의 성능을 최대한 끌어올려서, 시스템의 약점이 되지 않도록 합니다. 한 가지 팁을 드리자면, 만약 히터를 테플론의 열적 한계까지 사용한다면, 공기 흐름을 잘 조절해야 합니다. 그렇지 않으면 시간이 지나면서 외부 커버가 손상될 수 있습니다.