クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もし、クラス100の環境でシリコンウェーハを加熱する場合、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな破片やガスの放出だけで、生産されたウェーハ全体が廃棄処分になってしまいます。本当に困りますよね。一般的な加熱素子では、このような状況に対応できないのです。それらは劣化してしまい、結果として生産効率が低下してしまいます。
だからこそ、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しているのです。
なぜ石英が重要なのか 私たちは融成石英を使用しています。これは非常に純度が高いため、高温になっても金属イオンが漏れ出る心配がありません。一般的なガラスや安価な素材では、このような熱ストレスに耐えられず、壊れてしまいます。
私たちの材料は固形のままであり、短波長のIR放射線をウェーハ表面に直接当てることができます。必要な熱量を得られる一方で、ランプ自体が邪魔になることもありません。汚染もなく、面倒もありません。
適切な距離を保つこと ランプとウェーハの間の距離は、重要なポイントです。 距離が近すぎると、局所的に過度な熱が発生したり、最悪の場合は物理的な接触が起こったりします。逆に、距離が遠すぎると、熱密度が低下し、全体的に処理が遅くなります。私たちは、熱がウェーハ全体に均等に分布するように、焦点距離を慎重に調整しています。
しかし、パワー密度にも注意が必要です。高出力のランプは大量のエネルギーを放出します。これは迅速な処理には有効ですが、HVACシステムに大きな負荷をかけます。処理時間を短縮するために出力を上げる場合は、冷却装置がその熱を効果的に除去できるかを確認してください。敏感な電子機器が過度な熱にさらされないようにしましょう。
設置時の注意点 私たちは、これらのランプを簡単に交換できるようにしています。部品が交換必要になった時でも、すぐに再稼働できます。
また、振動によって微粒子が飛び散るのを防ぐために、接続部分をしっかり固定しています。しかし、ランプだけが全てではありません。取り付けブラケットもチェックしてください。もし、塗料が剥がれ落ちて処理室に入ってしまうような場合、どんなに純度の高い石英を使っても、ウェーハを守ることはできません。取り付けブラケットが剥がれないようにしておけば、問題ありません。