フォトレジスト乾燥用赤外線モジュール

ファブフロアでは、ソフトベークの温度がわずか0.5℃ずれるだけで、重要寸法制御に影響を及ぼし、現像後にスカムが残ることがあります。もはや推測の余地はありません。フォトレジスト乾燥用赤外線モジュールは、その変動要因を排除し、ウェハーレベルの均一性とクリーンルームの管理が唯一の許容基準となる環境下で繰...