省エネ型ウェーハヒーター

はじめに 私たちが赤外線加熱システムを開発したのには、一つだけ理由があります。それは、より少ないエネルギーで半導体製造プロセスを効率的に進行させるためです。つまり、ウェーハを迅速かつ正確に所定の温度に保ちながら、安定した制御を実現するのです。そして、従来の加熱方式と比べて、はるかに少ない電力で済み...