マシンの外壁を加熱するのはやめよう（部品自体を加熱しよう） 半導体関連の機器を扱ったことがある人なら、その「過度な発熱」という問題を知っているでしょう。対流式の加熱装置を使うと、内部のケース全体が巨大なラジエーターのようになります。外壁が非常に高温になり、デリケートな電子部品が壊れてしまう心配が出...

はじめに 私たちが赤外線加熱システムを開発したのには、一つだけ理由があります。それは、より少ないエネルギーで半導体製造プロセスを効率的に進行させるためです。つまり、ウェーハを迅速かつ正確に所定の温度に保ちながら、安定した制御を実現するのです。そして、従来の加熱方式と比べて、はるかに少ない電力で済み...