クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

なぜクリーンルーム内のオーブンで熱風を使わなくなっているのか 多くの半導体製造プロセスでは、依然として強制送風によって加熱や乾燥が行われている。正直、これは大きなボトルネックだ。 考えてみてください。空気はひどい熱伝導体です。ウェーハや部品を所定の温度にするためには、オーブン内の空気の各部分を一つ...