加熱ランプによってウェーハがダメになるのを防ごう クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はよくご存知でしょう。見えないほど微細なほこり一つでも、ウェーハ全体が無駄になってしまいます。本当に困りますよね。 問題は、一般的なIRランプがその原因であることです。これらのランプからは微...

MEMSウェーハを面倒なことなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスを取る必要があります。水を速やかに除去する必要はありますが、力を入れすぎると熱応力が生じたり、不純物が残ったりする危険があります。 私たちが見つけた解決策は、赤外線ヒーターと金コーティングされた反射...

熱を正しく適切な場所に送る ほとんどの赤外線加熱装置は、単純にエネルギーをあちこちに放出してしまいます。スマートセンサーのパッケージングを行う際、特にウェーハレベルで作業する場合、機械の筐体がその熱を吸収してしまうわけにはいきません。エネルギーはシリコンに直接当たるべきです。それだけです。 だから...

清潔を保つこと：センサーの加熱における現実 水素センサーを製造する際、ほんのわずかなほこりや、密封部分から漏れ出る微量のガスだけで、大量の製品がダメになってしまいます。本当に厄介です。ちょっとしたミスで、何時間もかけて作業した成果が台無しになってしまいます。 だからこそ、このような装置用の赤外線ヒ...

Fabフロアでは、フォトレジストベーク中の0.5°Cのドリフトは単なるCDシフトではありません。非常に重要な影響を及ぼします。ウェハーツールは7×24稼働しており、熱的な不安定性は急速に累積し、熱予算が圧迫され再作業を強いられます。再現性が仕様であり議論の余地がない温度センサーが必要です。 技術的...