粉塵を防ぐ：より優れた加熱システムを導入しましょう クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はご存知でしょう。ちょっとした粉塵や、安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハの品質が大幅に低下してしまいます。本当にイライラしますよね。すべてを正しく行っているのに、何かの部品が故障し...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もし、あなたがクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、ガス放出という問題がどれほど厄介かご存知でしょう。わずかな微粒子や揮発性有機化合物が空気中に混入するだけで、作業した製品全体が台無しになってしまいます。一般的な加熱要素では...

もう待つのはやめよう：なぜ半導体製造においてIR加熱が優れているのか もしこまめな加工を行う際に依然として強制送風を利用しているのであれば、それはつまり、毎回「待ち時間」というコストを支払っていることに他なりません。 実際、強制送風は効率が悪いです。空気を加熱し、その空気が動き回り、最終的に部品が...