ファブ乾燥設備のエネルギー診断

ウェーハの適切な乾燥を実現するために：なぜ金が重要なのか ウェーハを乾燥させるのは、まるで綱渡りのような作業です。水を素早く除去する必要がありますが、同時に、水滴やほこりの痕跡が残ってはいけません。これは非常に難しい作業です。 ほとんどの場合、ヒーターから出る赤外線エネルギーがウェーハに届くように...