ファブIRランプ用クォーツスリーブ

ファブ内では、フォトレジストの焼成処理については議論の余地などありません。重要なのは、再現性のある温度制御です。ウェーハの温度が半度でもずれると、重要な寸法が変わってしまいます。その結果、何時間もかけて行ったリソグラフィー作業が台無しになってしまいます。 IRランプとそのクォーツスリーブは、その熱...