클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 환경에서 실리콘 웨이퍼를 가열한다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 가스만 있어도 전체 제품이 폐기되어버립니다. 정말 짜증나는 일입니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 환경에 적합하지 않습니다. 그러면서도 파편이 생기거나 손상되어 결국 제품의 품질이 떨어집니다.
그래서 우리는 IR 램프에 고순도의 합성 석영을 사용합니다.
석영이 왜 중요한가?
우리는 융합된 규산을 사용합니다. 이 물질은 매우 순수하기 때문에, 열이 가해질 때 금속 이온이 배출될 걱정이 없습니다. 일반적인 유리나 저품질의 물질들은 열 스트레스를 견디지 못하고 파괴됩니다. 반면, 우리가 사용하는 물질은 단단하기 때문에 짧은 파장의 IR 방사선이 웨이퍼 표면에 직접 닿을 수 있습니다. 그 결과 필요한 열을 얻을 수 있으며, 램프가 방해가 되지도 않습니다. 오염도 없고, 문제도 생기지 않습니다.
적절한 거리 유지
램프와 웨이퍼 사이의 거리는 중요합니다. 너무 가까우면 과열이 발생하거나, 심한 경우 물리적인 접촉이 일어날 수 있습니다. 너무 멀으면 열 밀도가 낮아져 모든 과정이 느려집니다. 우리는 열이 웨이퍼 전체에 고르게 분포하도록 초점 거리를 조절하는 데 많은 시간을 들입니다.
하지만 주의할 점은 전력 밀도입니다. 고출력 램프는 엄청난 양의 에너지를 방출합니다. 이는 속도 면에서는 좋지만, HVAC 시스템에 큰 부담을 줍니다. 만약 시간을 단축하기 위해 출력을 높인다면, 반드시 냉각 시스템이 그 열을 효과적으로 처리할 수 있는지 확인해야 합니다. 민감한 전자 부품들이 과열되는 것을 막아야 합니다.
설치에 필요한 세부 사항
우리는 이 램프들을 쉽게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 부품을 교체해야 할 때, 빠르게 다시 작동시킬 수 있습니다. 또한, 진동으로 인해 먼지가 생기는 것을 막기 위해 연결 부분을 단단히 고정했습니다. 하지만 기억해야 할 것은, 램프 자체만으로는 충분하지 않다는 것입니다. 마운팅 브라켓도 반드시 확인해야 합니다. 만약 그 브라켓에 페인트가 사용되어 있다면, 세상에서 가장 순수한 석영도 제품을 보호할 수 없습니다. 마운팅 브라켓이 파손되지 않도록 주의해야 합니다.