클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100 환경에서 실리콘 웨이퍼를 가열한다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 가스만 있어도 전체 제품이 폐기되어버립니다. 정말 짜증나는 일입니다. 일반적인 가열 요소들은...

혼란을 막는 방법: 웨이퍼 치유 과정에서 발생하는 램프 고장 문제 해결하기 솔직히 말해서, 고부하가 걸리는 치유 시스템에서 램프가 고장 나면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 가동 중단이나 성가신 알람 문제뿐만 아니라, 유리 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어지는...

난방용 램프가 웨이퍼를 손상시키는 것을 막으세요 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 보이지도 않는 아주 작은 먼지 한 점만으로도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 정말 짜증나는 일입니다. 문제는 일반적인 적외선 램프...

MEMS 웨이퍼를 고통 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강하게 처리하면 열응력이 생기거나 불쾌한 잔여물이 남을 수 있습니다. 우리가 발견한 해결책은 적외선 히터와 금으로 코팅된...

서론 우리가 적외선 가열 시스템을 개발한 이유는 단 하나입니다. 바로 더 적은 에너지를 사용하면서도 반도체 생산 공정의 효율을 높이는 것입니다. 실제로, 웨이퍼를 정확한 온도로 빠르게 가열할 수 있으며, 그 과정에서도 안정적인 제어가 가능합니다. 게다가 기존의 가열...

제조 공정에서는 웨이퍼의 두께를 50µm까지 얇게 만들지만, 건조 과정이 균일하지 않아 수율이 저하됩니다. 소프트 베이크 과정에서도 문제가 생기며, 경화 과정에서는 패키징에 사용되는 물질들이 갈라집니다. 우리는 이러한 열적 불안정성을 해결하기 위해 적외선 웨이퍼 얇게...

제조 현장에서, 포토레지스트 베이크 중 0.5°C 편차는 단순한 CD 변화가 아니다. 손실 위험이 크다. 웨이퍼 장비는 7×24로 가동되며, 열 불안정성은 빠르게 누적되어 열 예산을 소진시키고 재작업을 강제한다. 반복성이 명세서에 명확히 기재된 온도 센서가 필요하다....