기계의 벽面을 가열하는 것을 그만두고, 부품 자체를 직접 가열해 보세요. 반도체 장비를 다루어 본 사람이라면 ‘열로 인한 문제’가 얼마나 골치 아픈지 잘 알 것입니다. 대류식 가열을 사용하면 기계 내부 전체가 마치 거대한 라디에이터처럼 작동합니다. 그 결과, 기계의...

서론 우리가 적외선 가열 시스템을 개발한 이유는 단 하나입니다. 바로 더 적은 에너지를 사용하면서도 반도체 생산 공정의 효율을 높이는 것입니다. 실제로, 웨이퍼를 정확한 온도로 빠르게 가열할 수 있으며, 그 과정에서도 안정적인 제어가 가능합니다. 게다가 기존의 가열...