캐논 리소그래피 히터 전구

리소그래피 작업 현장에서는 포토레지스트 베이크 중 0.5°C 온도 편차가 어떻게 크리티컬 치수(CD) 제어를 규격 밖으로 밀어낼 수 있는지 잘 알고 있을 것이다. Canon 리소그래피 히터 램프는 프로세스 윈도우 내에서 열 거동을 안정적으로 유지하도록 설계되어 교대...