반도체 히터용 열전대

생산 공정에서는 열 관리가 단순한 권장 사항이 아니라, 반드시 준수해야 하는 원칙입니다. 포토레지스트 처리 과정에서 몇 도만 실온이 변해도, 에칭 과정 이후에는 소자의 치수가 변하게 됩니다. 그로 인해 생산성이 급격히 저하됩니다. 그래서 우리는 반도체 히터용 써모커플...