如何让100级洁净室始终保持清洁状态 如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理，那可真是件麻烦事。哪怕有一点点杂质或气体泄漏，整批产品都会报废。这确实很令人苦恼。大多数普通加热元件根本不适合这种环境——它们容易碎裂，从而破坏产品的质量。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材料。 为什...

避免混乱：解决晶圆固化过程中灯管损坏的问题 说实话，当高负载固化系统中的灯管发生故障时，那简直是一场噩梦。问题不仅在于设备需要停机，还有那些烦人的警报声。更糟糕的是，玻璃碎片和卤素气体会直接落在晶圆上，从而造成污染。因此，我们设计了反射器结构，作为物理上的保护措施。 反射器的工作原理 大多数人认为...

别再让加热灯损坏你的晶圆了 如果你在100级洁净室中工作，那么你一定知道那有多糟糕。哪怕只有一粒微小的灰尘——小到肉眼都无法看见——就足以让整批晶圆报废。这真是令人沮丧。 问题在于，普通的红外灯往往是罪魁祸首。它们会释放出微量颗粒物，简直就像一个个“灰尘制造机”，而这种状况恰恰发生在最需要保持洁净...

如何让MEMS晶圆快速干燥，同时避免各种问题？ 干燥MEMS传感器晶圆需要巧妙地控制温度。虽然需要尽快去除水分，但如果处理不当，就有可能导致热应力或残留物问题。 我们发现的解决方案是使用红外线加热器，再搭配镀金反射器。听起来很复杂，但实际上只是为了确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是让机器内部过热...

简介 我们开发红外加热系统的目的很明确：让半导体生产流程更高效，同时降低能耗。也就是说，我们要确保晶圆能以最快速度达到所需温度，而且还能实现精准的温度控制。这样一来，您所使用的电力就会远远少于传统的加热方式。 在迈向碳中和目标的进程中，这一点至关重要。您可以实现环保目标，而无需牺牲生产效率。无需做...

在制造车间里，我们需要将晶圆厚度减少到50微米左右。但由于干燥过程不均匀，导致成品率下降。当加热温度不稳定时，光刻胶的厚度也会发生变化。而当固化过程中的温度过高时，封装材料则可能出现裂痕。我们设计了红外加热器，以此来消除这些热应力带来的问题。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们使用的是短波红外发...

在晶圆车间，光刻胶烘烤过程中0.5°C的温度漂移不仅仅是尺寸（CD）偏差。这涉及的风险很大。晶圆设备全天候7×24运行，热不稳定会迅速累积，消耗热预算并导致返工。你需要一种温度传感器，其重复性应作为规格要求，而非仅仅是讨论点。 技术要点 我们针对晶圆级热均匀性±0.1°C设计了这款传感器，以保证每...