MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS晶圆快速干燥，同时避免各种问题？ 干燥MEMS传感器晶圆需要巧妙地控制温度。虽然需要尽快去除水分，但如果处理不当，就有可能导致热应力或残留物问题。 我们发现的解决方案是使用红外线加热器，再搭配镀金反射器。听起来很复杂，但实际上只是为了确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是让机器内部过热...