用于光刻机的石英玻璃屏蔽罩
为什么石英屏蔽层是提升晶圆厂加热效率的秘诀?
说实话,半导体制造过程中实现精确的加热其实非常耗能。我们通常使用红外灯来维持晶圆的适宜温度,但如果不加以适当屏蔽的话,那些热量就会白白浪费掉——不仅是能源的浪费,也是金钱的浪费。
这时,高纯度石英玻璃就派上用场了。它的作用并非让设备看起来更整洁,而是将...
用于制造红外灯的石英套管
在制造工厂中,光刻胶的烘烤过程是绝不能出错的环节。关键在于要确保温度能够得到精确控制。如果晶圆的温度偏差达到半度,那么其关键尺寸就会出现偏差,从而导致数小时的光刻工作白费。
红外灯及其石英套管位于热循环系统的中心位置。如果石英套管无法保持稳定的温度,那整个生产流程就会受到影响。
真正重要的因素是什...