佳能光刻加热灯泡

在光刻车间，您知道在光刻胶烘烤过程中，0.5°C 的漂移会多快使关键尺寸 (CD) 控制超出规范。佳能光刻加热灯泡的设计旨在保持热行为稳定在工艺窗口内，换班后也不例外。 底层关键点 它采用短波红外 (IR) 卤素发射器，封装在石英外壳中，因此您可以实现快速的直接辐射加热，同时具有较低的热惯性。在烘...