Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizlampen Ihre Wafer beschädigen!
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem nur zu gut. Ein einziger Staubkorn – etwas, das man nicht einmal sehen kann – kann dazu führen, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. Das ist frustrierend.
Das Problem liegt oft bei herkömmlichen IR-Lampen. Sie geben Gase ab oder lösen mikroskopisch kleine Partikel aus ihrem Gehäuse aus – im Grunde handelt es sich dabei um „kleine Staubfabriken“, genau dort, wo man sie am wenigsten gebrauchen kann.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir stattdessen hochreinen gegossenen Quarz für unsere Heizelemente verwendet haben.
Warum Quarz eigentlich wichtig ist
Die meisten Gläser enthalten metallische Verunreinigungen. Wir verwenden synthetischen gegossenen Quarz, weil dieser all diese Unreinheiten entfernt. Er leistet nicht nur dazu, die Wärme zu übertragen, sondern verhindert auch das lästige Ausschütteln von Partikeln, wie es bei billigeren Lampen der Fall ist. Die Oberfläche bleibt dabei chemisch inaktiv. Das bedeutet: Wenn die Lampe ihre maximale Temperatur erreicht, gelangt nichts in die Umgebungsluft. Die Oberfläche bleibt sauber.
Die optimale Wärmeabgabe
Präzision ist hier entscheidend. Es muss ein perfektes Gleichgewicht zwischen Leistung und Oberflächenfläche geben. Wir haben diese Lampen so abgestimmt, dass sie ein konzentriertes Kurzwellen-IR-Spektrum abgeben. Die Energie dringt schnell in die Oberfläche des Wafers ein, ohne die umliegenden Teile zu beschädigen. Dadurch entsteht ein gleichmäßiges Temperaturprofil über die gesamte Oberfläche. Das ist das Ziel.
Vorsicht: Behandeln Sie die Lampen vorsichtig
Hochreiner Quarz ist zwar chemisch sehr stabil, doch physisch gesehen ist er etwas empfindlich. Er kann keine gleiche mechanische Belastung wie gehärtetes Glas aushalten. Wenn die Befestigungsclips zu fest sind oder die Vibrationsdämpfung nicht funktioniert, können Risse entstehen. Stellen Sie sicher, dass das Gehäuse der Lampe genug Platz zum Ausdehnen bietet, wenn sie heiß wird.
Einbau in Ihren Arbeitsablauf
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie möglichst einfach eingebaut werden können. Niemand möchte lange Stillstandszeiten wegen Wartungsarbeiten hinnehmen. Der Fußabdruck der Lampen ist klein, und die Anschlüsse sind sicher – dadurch gelangen keine Verunreinigungen ins System, während man die Teile wechselt.
Noch ein Tipp: Stellen Sie sicher, dass die Vakuum- oder Inertgasreinigung mit der Wärmeentwicklung der Lampe übereinstimmt. Wenn das nicht der Fall ist, können sich Residuen auf dem Quarz ansammeln – und das würde den ganzen Zweck zunichte machen.