Die Probleme verhindern: Umgang mit defekten Lampen bei der Härtung von Wafern
Seien wir ehrlich: Wenn eine Lampe in einem System mit hohem Belastungsgrad defekt geht, ist das ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten oder die störenden Alarmanzeigen – es geht auch um den Schmutz, der entsteht.
Wenn eine Quarztube zerbricht, fallen Glasstücke sowie Halogengas direkt auf die Wafern. Das führt zu einer Kontamination der Wafern. Deshalb haben wir unsere Reflektorstrukturen so konstruiert, dass sie als physischer Schutz dienen.
Wie der Reflektor tatsächlich funktioniert
Die meisten Menschen glauben, dass Reflektoren nur dazu da sind, Infrarotstrahlung zurück auf das Substrat zu lenken. Das stimmt zwar, aber wir haben unsere Reflektoren so gestaltet, dass sie auch Schmutzpartikel festhalten können.
Wir verwenden eine parabolische Form sowie einen dichten Randverschluss. Stellen Sie sich das wie eine Auffangmulde vor. Wenn eine Tube unter thermischer Belastung bricht, bleiben die Fragmente im Gehäuse – sie gelangen nicht in die Härtungskammer. Dadurch bleiben die Wafern sauber.
Die Materialien – und die Vorteile
Wir verwenden hochreines Aluminium sowie eine spezielle reflektierende Beschichtung, um das Beste aus dem Kurzwellen-Infrarotlicht herauszuholen. Ziel ist es, die gewünschte Hitzedichte zu erzielen, ohne die Lampe überlasten zu müssen.
Eine Überlastung der Lampe ist meistens der Grund für ihren Verschleiß.
Aber Achtung: Man muss auch auf den Luftstrom achten. Wenn das Gehäuse zu heiß wird, kann die Beschichtung schädigt werden – dadurch sinkt die Leistung der Lampe. Es geht also um ein Gleichgewicht.
Einfach halten
Wir hassen ebenso wie Sie zeitaufwendige Wartungen. Deshalb haben wir diese Komponenten so konstruiert, dass sie schnell ausgetauscht werden können. Die Lampe sowie der Reflektor können als ein einziges Modul entfernt werden. Das ist schnell – und außerdem wird so verhindert, dass versehentlich Partikel in das System gelangen.
Ein Hinweis: Kein Reflektor ist zu 100 % luftdicht. Wir halten zwar den größten Teil des Schmutzes fern, doch ein effektives Vakuum- oder Reinigungssystem ist immer noch notwendig, um das Gas aus der defekten Tube zu beseitigen.
Noch ein Tipp: Überprüfen Sie alle 500 Stunden die Ausrichtung des Reflektors. Dadurch werden unerwünschte Hitzepunkte vermieden, die dem Quarz unnötigen Druck bereiten.