क्लास 100 क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना
यदि आप क्लास 100 वाले वातावरण में सिलिकॉन वेफरों को गर्म कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि यह कितना कठिन काम है। थोड़ी सी भी धूल या गैसें ही पूरे उत्पादन को बर्बाद कर सकती हैं। यह बहुत ही निराशाजनक है। अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व इस काम के लिए उपयुक्त नहीं होते; वे टूट जाते हैं, और इससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है।
इसीलिए हम अपने आईआर लैंपों में उच्च-शुद्धता वाला सिंथेटिक क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
हम फ्यूज्ड सिलिका का ही उपयोग करते हैं। यह अत्यंत शुद्ध होता है; इसलिए गर्म होने पर भी इसमें से कोई धात्विक आयन बाहर नहीं निकलते। सामान्य काँच या सस्ती सामग्रियाँ ऐसे तापीय दबाव को सहन नहीं कर पातीं; वे टूट जाती हैं।
हमारी सामग्री ठोस ही रहती है… इससे शॉर्ट-वेव आईआर विकिरण सीधे वेफर की सतह पर पहुँचता है। आपको आवश्यक ऊष्मा मिल जाती है, और लैंप भी कोई समस्या नहीं पैदा करता। कोई संदूषण नहीं… कोई समस्या नहीं।
दूरी का सही निर्धारण
लैंप एवं वेफर के बीच की दूरी बहुत ही महत्वपूर्ण है।
यदि दूरी बहुत कम हो, तो वेफर पर गर्म बिंदु बन जाते हैं… या और भी बुरी स्थिति में, वेफर टूट जाता है। यदि दूरी बहुत ज्यादा हो, तो ऊष्मा का घनत्व कम हो जाता है, और सब कुछ धीमा हो जाता है। हम फोकल लंबाई को सही ढंग से समायोजित करने में बहुत समय लगाते हैं… ताकि ऊष्मा पूरे वेफर पर समान रूप से फैल सके।
लेकिन ध्यान रखें… ऊर्जा घनत्व भी महत्वपूर्ण है। उच्च-वाटेज वाले लैंप बहुत अधिक ऊर्जा उत्पन्न करते हैं… यह तो तेजी के लिए अच्छा है, लेकिन इससे HVAC पर बहुत बोझ पड़ता है। यदि आप समय बचाने हेतु वाटेज बढ़ा रहे हैं, तो यह सुनिश्चित करें कि आपकी कूलिंग सिस्टम उस ऊष्मा को ठीक से सोख सके… आप नहीं चाहेंगे कि आपके संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक उपकरण गर्मी से क्षतिग्रस्त हो जाएँ।
सेटअप के विवरण
हमने इन लैंपों को ऐसा बनाया है कि उन्हें आसानी से बदला जा सके… जब किसी भाग को बदलने की आवश्यकता होती है, तो आप जल्दी ही काम शुरू कर सकते हैं।
हमने कनेक्शनों को भी मजबूत किया है… ताकि कंपनों के कारण कोई कण बाहर न निकल सके। लेकिन ध्यान रखें… लैंप ही सब कुछ नहीं है… अपने माउंटिंग ब्रैकेटों की भी जाँच करें… यदि उन पर ऐसा रंग है जो प्रक्रिया कक्ष में गिर जाता है, तो दुनिया का सबसे शुद्ध क्वार्ट्ज भी आपके उत्पादन को बचा नहीं सकेगा… ऐसे में अपने सहायक उपकरणों को ऐसा ही रखें कि वे कोई कण बाहर न निकालें… तभी ही आपका उत्पादन सुरक्षित रहेगा।