अपने हीटिंग लैंपों की वजह से अपने वेफरों को नष्ट होने से बचाएं।
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको इस समस्या का पता ही होगा। थोड़ी सी धूल – ऐसी धूल जिसे देखना भी मुश्किल है – ही आपके सभी वेफरों को बर्बाद कर सकती है। यह बहुत ही निराशाजनक है।
समस्या यह है कि सामान्य IR लैंप ही इसके लिए जिम्मेदार होते हैं। ऐसे लैंपों से सूक्ष्म कण निकलते रहते हैं; ये कण वास्तव में “धूल के कारखाने” की तरह काम करते हैं… और ऐसा ठीक उसी समय होता है जब आपको इसकी सबसे अधिक आवश्यकता होती है।
हमने इस समस्या का समाधान उच्च-शुद्धता वाले फ्यूज्ड क्वार्ट्ज का उपयोग करके किया।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
अधिकांश काँचों में धात्विक अशुद्धियाँ होती हैं। हम सिंथेटिक फ्यूज्ड क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं, क्योंकि यह ऐसी सभी अशुद्धियों को दूर कर देता है।
यह केवल ऊष्मा ही प्रदान नहीं करता, बल्कि सस्ते लैंपों में होने वाली समस्याओं को भी रोकता है। हम इसकी सतह को ऐसे ही तैयार करते हैं कि वह रासायनिक रूप से निष्क्रिय रहे। इसका मतलब है कि जब लैंप अपने चरम तापमान पर पहुँचता है, तो कुछ भी बाहर नहीं निकलता… और सतह साफ ही रहती है।
सही तापमान प्राप्त करना
यहाँ सटीकता ही सब कुछ है। वॉटेज एवं सतह के क्षेत्रफल के बीच संतुलन आवश्यक है।
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे अल्प-तरंगदैर्घ्य वाली IR ऊर्जा को प्रदान करें। यह ऊर्जा वेफर की सतह में तेज़ी से प्रवेश करती है… लेकिन आसपास के हिस्सों को नुकसान नहीं पहुँचाती। इससे तापमान स्थिर रहता है… और यही लक्ष्य है।
सावधान रहें!
उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज रासायनिक रूप से बहुत ही मजबूत होता है… लेकिन भौतिक रूप से यह थोड़ा कमज़ोर होता है।
इसे उसी तरह उपयोग में लाना होगा जैसे कि मजबूत काँच का उपयोग किया जाता है। यदि लैंप को बहुत जोर से बाँधा जाए, या कंपन रोकने हेतु उचित व्यवस्था न हो, तो लैंप में दरारें पड़ सकती हैं। इसलिए ध्यान रखें कि लैंप को गर्म होने के दौरान पर्याप्त जगह मिले।
इसे अपनी कार्यप्रणाली में शामिल करें
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें आसानी से उपयोग में लाया जा सके। कोई भी व्यक्ति रखरखाव हेतु लंबे समय तक मशीन को बंद रखना नहीं चाहेगा।
इन लैंपों का आकार छोटा है, एवं इनके कनेक्शन भी मजबूत हैं… इसलिए जब आप पार्ट्स बदलते हैं, तो कोई भी प्रदूषक पदार्थ सिस्टम में नहीं जाता।
एक और सलाह: ध्यान रखें कि वैक्यूम या निष्क्रिय गैस का उपयोग लैंप के तापमान के अनुरूप ही होना चाहिए। यदि ऐसा न हो, तो क्वार्ट्ज पर अवशेष जम सकते हैं… और यह पूरी प्रक्रिया व्यर्थ हो जाएगी।