먼지를 막아주는 것: 더 나은 가열 성능을 위해
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고충을 잘 알고 계실 것입니다. 작은 먼지 한 조각이나 저품질 히터에서 나오는 가스만 있어도 웨이퍼의 품질이 현저히 떨어집니다. 정말 짜증나는 일이죠. 모든 것을 제대로 해도, 어떤 하드웨어가 고장 나버립니다.
그래서 우리는 고순도 합성 석영 IR 램프를 사용하기 시작했습니다. 이 램프들은 반도체 산업에 특별히 설계된 것으로, ‘청결’이란 말이 실제로 의미하는 바를 실현해줍니다.
비밀은 석영에 있습니다.
우리는 불순물이 제거된 융합 실리카를 사용합니다. 왜일까요? 열이 가해지면 금속 이온들이 움직이기 시작하기 때문입니다. 저품질의 유리라면 그로 인해 미세한 파편들이 생겨나고, 그 파편들이 작업 대상물 위에 떨어집니다. 하지만 우리의 램프는 그러지 않습니다. 또한, 램프의 표면도 극도로 매끄럽게 처리되어 있어서, 입자들이 숨을 곳이 없습니다.
파워에 대해서도 알아보겠습니다.
이 램프들은 집중된 단파장 IR 에너지를 방출합니다. 그 장점은 바로 속도입니다. 전체 챔버를 오븐처럼 만들지 않고도 빠르게 목표 온도에 도달할 수 있습니다.
우리는 여러 가지 전압 설정을 제공하여, 기존의 전력 공급 시스템에도 쉽게 연결할 수 있도록 했습니다. 다만 주의할 점은, 이 램프들은 매우 강력한 에너지를 방출한다는 것입니다. 만약 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않으면, 램프를 고정하는 부품들이 변형될 수 있습니다. 스위치를 켜기 전에 반드시 냉각 시스템을 점검해보세요.
설치도 그다지 복잡하지 않습니다.
우리는 표준적인 R7 및 SK15 커넥터를 사용합니다. 따라서 설치도 간단합니다. 히터를 업그레이드하기 위해 주말을 할애하여 전체 제어 캐비닛을 재설정할 필요는 없습니다. 게다가 석영은 화학적으로 매우 견고하기 때문에, 일반적인 세정제로 세척해도 문제가 되지 않습니다.
마지막 팁입니다. 기존 설비에 이 램프를 설치할 때는 반사경을 꼭 확인해보세요. 반사경이 조금이라도 비틀어져 있으면, 기판에 과열 부위가 생길 수 있습니다. 그렇게 되면 고순도 램프를 사용하는 장점이 사라집니다. 램프를 설치한 후에는 반드시 전체 온도 분포를 확인해보세요. 그래야만 가열 구역이 고르게 작동하는지 확인할 수 있습니다.