ウェハーツール用温度センサー

Fabフロアでは、フォトレジストベーク中の0.5°Cのドリフトは単なるCDシフトではありません。非常に重要な影響を及ぼします。ウェハーツールは7×24稼働しており、熱的な不安定性は急速に累積し、熱予算が圧迫され再作業を強いられます。再現性が仕様であり議論の余地がない温度センサーが必要です。 技術的...