用于光刻机的石英玻璃屏蔽罩

为什么石英屏蔽层是提升晶圆厂加热效率的秘诀？ 说实话，半导体制造过程中实现精确的加热其实非常耗能。我们通常使用红外灯来维持晶圆的适宜温度，但如果不加以适当屏蔽的话，那些热量就会白白浪费掉——不仅是能源的浪费，也是金钱的浪费。 这时，高纯度石英玻璃就派上用场了。它的作用并非让设备看起来更整洁，而是将...