避免半成品干燥过程中的能量浪费 说实话，晶圆的干燥过程实在让人头疼。虽然必须去除晶圆上的水分，但若过度加热，就有可能毁掉整个晶圆。长期以来，人们通常使用大型烤箱来进行干燥处理。不过，为了干燥几块晶圆而让整个炉子都处于高温状态，就像为了加热一片披萨而让整个房子都变热一样，这无疑是一种巨大的能源浪费。...

别再让加热灯损坏你的晶圆了 如果你在100级洁净室中工作，那么你一定知道那有多糟糕。哪怕只有一粒微小的灰尘——小到肉眼都无法看见——就足以让整批晶圆报废。这真是令人沮丧。 问题在于，普通的红外灯往往是罪魁祸首。它们会释放出微量颗粒物，简直就像一个个“灰尘制造机”，而这种状况恰恰发生在最需要保持洁净...